半導體工業的廢氣有害嗎如何處理？

半導體是指在常溫狀態導電性能處于電導體與導電體中間的一種原材料，主要應用于集成電路芯片、消費電子產品、通訊系統、太陽能發電、照明燈具、大功率電阻變換等領域，在半導體工業加工的過程中將會出現部分的氣體排出，那半導體工業的廢氣有害嗎，如何處理好?

半導體工業生產在加工的過程中需要使用到光刻技術、蝕刻液、清潔劑、顯像劑等有機溶劑，而這些溶劑是含有大量有機化合物成份，排出出的廢氣帶有HCl、氨、HF等危險污染物，而關鍵處理是具有揮發物的VOCs。

• 溫馨提醒：VOCs污染物為有機物，在含量比較高并有火苗或靜電感應前提下，非常容易產生閃爆狀況。

• 半導體在生產流程中一般的污染物包含顆粒物污染物、金屬離子和化合物等，而這些都是屬于有害的污染物。

• 半導體廢氣處理辦法依據平頂山工業廢氣成份開展平頂山廢氣處理設備的挑選：

• 沸石轉輪吸附濃縮裝置：主要運用于有機化學廢氣的整治，尤其適用于大風量，較低濃度的場所;

• 洗滌塔：針對帶有酸堿性/堿性物質的廢氣，半導體廠封閉式生產車間大多數選用大中型立式平頂山凈化塔開展廢氣解決。

• TO直燃爐(平頂山催化燃燒設備)：對大風量、較低濃度的的VOCs廢氣，TO直燃爐一般會配搭沸石轉輪應用。

半導體工業廢氣是具有毒副作用的，不同類型的工業生產選用工藝原料不一樣，因而所采用的廢氣處理設備及其加工工藝都是不一樣的，實際的解決方案可咨詢創清環保的線上技術工程師。